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在生产制造中良好的工作环境是机械加工质量的重要保障，对精密加工及超精密零件加工质量有重要影响。在超精密零件的实际加工过程中，空气中的尘埃大于磨粒，有时会对加工表面造成损伤，影响磨粒的加工效果，因此需要超精密加工前的空气净化。直径在0.
